MFC（流量計(jì)） FCS-P系列（壓力式流量計(jì)） 　　FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專為確立近年來半導(dǎo)體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品?；静僮髟碛袆e于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)，這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。 產(chǎn)品特性 ●結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 FCS內(nèi)部結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡(jiǎn)單，且是個(gè)完全零死角的結(jié)構(gòu)。 ●卓越的壓力變動(dòng)特性 上游壓力變動(dòng)時(shí)，質(zhì)量流量控制器輸出值會(huì)呈現(xiàn)大幅度變化，但FCS則完全沒有任何變動(dòng)。 ●采用流量參數(shù)（FLOW FACTOR） 采用流量參數(shù)，即可利用N2校正，是FCS對(duì)應(yīng)各種氣體。 ●卓越的精準(zhǔn)度 全流量10%以上時(shí)，精準(zhǔn)度在設(shè)定點(diǎn)的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準(zhǔn)度相當(dāng)高。 ●搭載流量異常診斷功能 ●反應(yīng)靈敏 ●設(shè)置位置不受限（MOUNT POSITION FREE） ●對(duì)應(yīng)DEVICE NET 經(jīng)第三機(jī)構(gòu)測(cè)試單位ODVA的測(cè)試，完全通過ODVA測(cè)試軟體VerA-14的測(cè)試