Centrotherm，Tempress, SVCS擴散爐進口備件

POCL漿: SiC paddle（2258，2620）

恒溫控制器： Temperature-Control System （Fujifilm，Schumacher）

電機：Faulhauber，Tecmotion，Parker，Dunkermotoren，伺服控制器：RDC2，Omron

熱電偶： Profile TC（Left，Right），Spike TC（Single，Double）

MFC（Horiba，Brooks），（3L；15L；30L）

TMM5:   cassette-EI 5zones

TMM6:      temperature measuring module 6 channels CAN-bus

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

RDC2：  DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

壓差計:     differential pressure sensor 

固態繼電器:  solid state relay 125A