商品簡介D07-60B型 質(zhì)量流量控制器 ★高精度、重復性好、快響應型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國際標準機械接頭用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等業(yè)。詳細參數(shù)

標準:

氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為：

標準溫度………………0℃（273.15K）

標準壓強………………101325Pa

輸入和輸出:

輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA

輸入設定電壓…………0～+5.00V

輸出電壓檢測…………0～+5.00V

產(chǎn)品技術指標

滿量程流量范圍（N2)	300SLM～2000SLM
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型（閥初始狀態(tài)）	電磁調(diào)節(jié)閥 href="http://www.mfcsevenstar.cn/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準確度	±2％F.S.
線性	±1％F.S.
重復精度	±0.2％F.S.
響應時間	≤10sec
工作溫度范圍	5～45℃
工作壓差范圍	（0.25～0.5）MPa (≤1000SLM) （0.4～0.5）MPa (＞1000SLM)
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10-8SCCSHe
通道濕材料	316L不銹鋼、密封材料
靜密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）
動密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）
接頭選擇 法蘭 根據(jù)用戶要求設計 Swagelok 1/2””或φ10mm
重量	6kg