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供應(yīng)PECVD減反膜膜厚及折射率檢測設(shè)備
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產(chǎn)地：廣東 珠海市 | 歸屬行業(yè)：光伏生產(chǎn)設(shè)備

有效期至：長期有效

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珠海市精通電子科技有限公司

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  • 所在地：廣東 珠海市

對太陽能電池生產(chǎn)PECVD工藝后所鍍氮化硅膜層的膜層厚度進(jìn)行測試，可給出膜厚分布的MAP圖。也可對所鍍膜層的光學(xué)折射率n值進(jìn)行測量。
設(shè)備有離線和在線檢測設(shè)備，每秒中一片硅片可測試采樣4000個點(diǎn)。


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