全自動硅片清洗設備特點：
進口伺服驅(qū)動機構(gòu)及機械手臂，清洗過程中無需人工操作。
通過PLC實現(xiàn)控制，全部操作通過觸摸屏界面一次完成。
可預先設制多條清洗工藝，可同時運行多條工藝。
自動化程度高，適用于批量生產(chǎn)，確保清洗質(zhì)量的一致性。
自動氮氣鼓泡裝置可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量，縮短清洗時間。
可選裝層流凈化系統(tǒng)及自動配酸裝置。