GT Advanced Technologies 的多晶硅加工系統(tǒng)是一套完整的解決方案,旨在最大限度地減少產(chǎn)品在所有活動(dòng)中的污染,其中包括化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 還原爐產(chǎn)物收集以及最終的產(chǎn)品封裝。GT 的多晶硅加工系統(tǒng)包含對(duì)使用 GT 的 SDR 系列 CVD 還原爐生產(chǎn)的多晶硅棒進(jìn)行收集、運(yùn)輸、加工和封裝時(shí)所需的全部工程技術(shù)和設(shè)備。該系統(tǒng)可調(diào)整配置,以高效收獲長(zhǎng)度達(dá) 3,000 毫米、直徑達(dá) 150 毫米的多晶硅棒。
多晶硅加工系統(tǒng)的特點(diǎn)與優(yōu)點(diǎn):
設(shè)備尺寸、數(shù)量和布局均經(jīng)過精密計(jì)算,可為實(shí)現(xiàn)可靠的多晶硅加工提供相應(yīng)產(chǎn)能
其移動(dòng)產(chǎn)品存儲(chǔ)容器旨在防止產(chǎn)品從 CVD 還原爐收集區(qū)域運(yùn)輸至最終多晶硅處理區(qū)域期間遭受泄漏風(fēng)險(xiǎn)
產(chǎn)品篩選和清潔室封裝區(qū)域的所有設(shè)備均以低污染材料制成
包裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)十分人性化,包括多晶硅產(chǎn)品最終封裝所需的全部設(shè)備
多晶硅加工系統(tǒng)成套產(chǎn)品:
工藝流程圖
推薦設(shè)備布局
加工設(shè)備 – 硅棒收獲設(shè)備、硅棒運(yùn)輸車、材料處理設(shè)備、產(chǎn)品篩分設(shè)備和產(chǎn)品封裝設(shè)備
設(shè)備手冊(cè)
安全程序
操作程序
現(xiàn)場(chǎng)安裝和啟動(dòng)
現(xiàn)場(chǎng)員工培訓(xùn)