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行業(yè)
半導(dǎo)體制造工序（后工序）
氮氣清洗關(guān)聯(lián)元件
【樹脂閥體型】
1個FSM3能夠?qū)?yīng)空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
接頭快插式彎管、快插式直管、螺紋旋入式彎管、螺紋旋入式直管的4種可選擇。
2通閥可直接連接，能節(jié)省空間。可調(diào)整流量的針閥于針閥一體型也更能節(jié)省空間。
【不銹鋼閥體型】
1個FSM3能夠?qū)?yīng)空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
氧氣專用的禁油規(guī)格也有。
JXR接頭型，2種雙卡套接頭型的2種街頭和螺紋旋入式的共3種可選擇。
【高精度?高響應(yīng)】
壓力損失因再設(shè)計流路而比舊型減少最大50%。
流向可選單向（正向和逆向的2種）和雙向的3種類。
響應(yīng)時間：50msec
【IO-link可實現(xiàn)工廠自動化】
IO-link對應(yīng)。
傳送參數(shù)和其他活動數(shù)據(jù)，可預(yù)測保全。
適用于檢查漏氣和空氣消耗量。
