PEEK高分子聚合物及其改性符合材料是當(dāng)今市場上工人的具有最高綜合性能的可熔融加工的聚合物新材料，具有耐高溫、耐腐蝕、耐水解、自潤滑、耐磨損、高強(qiáng)度、高純度、高精度、尺寸穩(wěn)定等特性優(yōu)點(diǎn)。隨著晶圓尺寸和集成電路密度的增大，也隨著電子半導(dǎo)體工業(yè)制造環(huán)境要求及對(duì)污染源靈敏度的提高，使用PEEK高性能聚合物材料已成為一條非常必要且行之有效的解決很多技術(shù)的保證措施。